اگر چه وسایل MEMS خیلی کوچک‌اند (مثلا MEMS دارای موتورهای الکتریکی کوچکتر از قطر موی انسان است ولی اهمیت فناوری MEMS فقط به اندازۀ آن‌ها مربوط نمی‌شود. علاوه بر این، MEMS فقط به پایه سیلیکونی محدود نمی‌شود، هرچند سیلیکون به دلیل داشتن خواص عالی به یک انتخاب جالب توجه برای مصارف مکانیکی با کیفیت با تبدیل شده است.
